氨氣流量控制器

簡要描述：

D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器氨氣流量控制器用途:質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

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D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器 氨氣流量控制器產(chǎn)品簡介：

★高耐壓性
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
★CE認(rèn)證，兼容

D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器 氨氣流量控制器用途:

質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器 技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)	D07-11C
產(chǎn)品類型	高耐壓型,抗電磁干擾
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
產(chǎn)品精度	±1％F.S.
重復(fù)精度	±0.2% FS
線性	±0.5% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤10sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
耐壓	10MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
輸入輸出信號(hào)	(0~5)VDC
電源	±15V
閥類型	- 無 -
溫度系數(shù)	- 無 -
零點(diǎn)飄移指標(biāo)	- 無 -
電氣連接	D sub 15 pins Male
工作壓差范圍	(0.2～0.6) MPa （10slm＜F.S.）,(0.2～0.8) MPa （F.S.≤10slm）
漏率	1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4”
表面化學(xué)成分	- 無 -
表面粗糙度	- 無 -
抗電磁干擾	CE
重量	1Kg